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詳情介紹
島津分子泵TMP-2404/3304/4304mks的性能：
＊超聲波**清洗轉/定子葉片及腔體 并烘干
＊更換了全套進口陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品
＊馬達線圈阻值測量,轉子定子間隙測量
＊根據ISO1940/1& ANSI S2.19,調整測試動平衡至Ｇ0.16標準
＊測試0-27000rpm啟動時間<3分鐘
＊測試極限真空值<1.0*10－7mbar
＊持續模擬生產現場測試24小時
＊0-20KHz震動頻譜加速度分析
＊6000-27000rpm全轉速動平衡分析及校準
＊Inficon UL1000氦質譜檢漏儀測試分子泵的滲漏率小于2.0*10－9mbar*L/
島津分子泵TMP-2404/3304/4304mks的特點：
＊寬量程、大排量－可在廣闊的壓力范圍內使用
＊電源裝置比前期型號尺寸縮小一半－能使配電盤的面板小型化
＊電源裝置不再使用蓄電池－電源裝置無需維護
＊加熱后真空度可達10-9Pa－能滿足超高真空和大抽速的需求
＊支持RS232C標準的連續通訊－可以對轉速、電流值進行監控，異常狀況可以早期發現
＊轉速可調機能－轉速可在25％～100％范圍內調節
＊具有自我診斷功能－實現故障的早期發現
＊允許突然掉電的次數為260次－如果以1次/周即52次/年來計算，可使用5年無需保養
＊自由調整機能－同一機種的泵、電源裝置、電纜都可互換
＊可多方位安裝－提高了設備設計的自由度
風冷普通型/化學型 | TMP-203M/MC | TMP-303M/MC | TMP-403M/MC | TMP-803M/MC | TMP-1003M/MC | TMP-1103MP/MPC | TMP-2003M/MC | ||||
水冷普通型/化學型 | TMP-203LM/LMC | TMP-303LM/LMC | TMP-403LM/LMC | TMP-803LM/LMC | TMP-1003LM/LMC | TMP-1103LMP/LMPC | TMP-1303LM/LMC | TMP-2003LM/LMC | TMP-2203LM/LMC | TMP-3203LM/LMC | TMP-4203LMC |
(烘烤后)到達圧力(Pa)普通型 | 10-8 | 10-8 | 10-8 | 10-9 | 10-9 | 10-9 | 10-8 | 10-9 | 10-8 | 10-9 | |
化學型 | 10-7 | 10-7 | 10-7 | 10-7 | 10-8 | 10-8 | 10-7 | 10-8 | 10-7 | 10-8 | 10-7 |
最大吸氣口壓力(Pa) 風冷型 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 0.4 | ||||
水冷型 | 200 | 200 | 200 | 400 | 400 | 70 | 133 | 67 | 40 | 40 | 10 |
最大排氣口壓力(Pa) 風冷型 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 270 | 40 | ||||
水冷型 | 400 | 400 | 400 | 665 | 665 | 800 | 270 | 270 | 270 | 270 | 270 |
排氣速度(L/s) | |||||||||||
N2 | 190 | 320 | 420 | 800 | 1080 | 1080 | 1300 | 2000 | 2140 | 3200 | 4200 |
He | 140 | 340 | 360 | 800 | 930 | 1040(對于Ar） | 1050 | 1800 | 2000 | 3000 | 4000 |
H2 | 120 | 320 | 340 | 700 | 790 | 800 | 750 | 1600 | 1350 | 2400 | 2800 |
壓縮比 | |||||||||||
N2 | 109以上 | 109以上 | 109以上 | 109以上 | 109以上 | 109以上 | 6×108 | 109以上 | 1.4×108 | 109以上 | 8×108 |
He | 6×104 | 8×104 | 8×104 | 8×104 | 8×104 | 107 | 1×104 | 7×105 | 1×104 | 3×105 | 1.8×105 |
H2 | 4×103 | 1×103 | 1×103 | 4×103 | 4×103 | 106 | 1×103 | 1.4×104 | 1×103 | 1×104 | 1.0×104 |
額定轉數（RPM） | 50000 | 45000 | 45000 | 35000 | 35000 | 36000 | 30300 | 27000 | 24600 | 21000 | 18000 |
起動時間 | 5分以內 | 5分以內 | 5分以內 | 5分以內 | 5分以內 | 5分以內 | 7分以內 | 9分以內 | 11分以內 | 13分 | 18分以內 |
安裝方向 | 多方位 | 多方位 | 多方位 | 多方位 | 多方位 | 多方位 | 多方位 | 多方位 | 多方位 | 多方位 | 垂直方向 |
泵體吸氣口處烘烤溫度 | 120℃以下 | 120℃以下 | 120℃以下 | 120℃以下 | 120℃以下 | 120℃以下 | 120℃以下 | 120℃以下 | 120℃以下 | 120℃以下 | 120℃以下 |
振動（島津自測） | 0.012μm以下 | 0.012μm以下 | 0.012μm以下 | 0.01μm以下 | 0.01μm以下 | 0.01μm以下 | 0.01μm以下 | 0.01μm以下 | 0.01μm以下 | 0.01μm以下 | 0.01μm以下 |
重量（Kg） | 9 | 14 | 14 | 31 | 32 | 32 | 34 | 55 | 55 | 70 | 100 |
推薦氣體清掃流量（SCCM） | 20～30 | 20～30 | 20～30 | 20～30 | 20～30 | 20～30 | 20～30 | 20～30 | 20～30 | 20～30 | 20～30 |
前級泵抽速（氣體清掃時） | 200L/min以上 | 200L/min以上 | 200L/min以上 | 500L/min以上 | 500L/min以上 | 500L/min以上 | 600L/min以上 | 500L/min以上 | 800L/min以上 | 1500L/min以上 | 1500L/min以上 |
容許環境溫度（℃） | 0～40 | 0～40 | 0～40 | 0～40 | 0～40 | 0～40 | 0～40 | 0～40 | 0～40 | 0～40 | 0～40 |
容許磁場密度 | |||||||||||
半徑方向 | 3mT | 3mT | 3mT | 3mT | 3mT | 3mT | 3mT | 3mT | 3mT | 3mT | 3mT |
軸方向 | 15mT | 15mT | 15mT | 15mT | 15mT | 15mT | 15mT | 15mT | 15mT | 15mT | 15mT |
冷卻水 | |||||||||||
流量（L/min） | 1～3 | 1～3 | 1～3 | 1～3 | 1～3 | 1～3 | 1～3 | 1～3 | 1～3 | 2～4 | 2～4 |
水壓（Mpa） | 0.2～0.5 | 0.2～0.5 | 0.2～0.5 | 0.2～0.5 | 0.2～0.5 | 0.2～0.5 | 0.2～0.5 | 0.2～0.5 | 0.2～0.5 | 0.2～0.5 | 0.2～0.5 |
水溫（℃） | 5～30 | 5～30 | 5～30 | 5～30 | 5～30 | 5～30 | 5～30 | 5～30 | 5～30 | 5～25 | 5～25 |
對應電源裝置名稱 | EI-D203M | EI-D303M | EI-D303M | EI-D1003M | EI-D1003M | EI-D1103M | EI-D1303M | EI-D2003M | EI-D2203M | EI-D3203M | EI-D4203M |
EI-D203M | EI-D303M | EI-D1003M | EI-D1103M | EI-D1303M | EI-D2003M | EI-D3203M | EI-D4203M | |
額定頻率 | 833Hz | 750Hz | 1166Hz | 1200Hz | 1010Hz | 450Hz | 350Hz | 300Hz |
蓄電池 | 不要 | 不要 | 不要 | 不要 | 不要 | 不要 | 不要 | 不要 |
組合互換性 | 泵本體、電源裝置、電纜在相同型號交換時不需要調整，即同型號*兼容 | |||||||
環境條件 溫度/濕度 | 0～45℃/40～80HR | |||||||
電源電壓 | 單相AC100～120 | 單相AC100～120 | 單相AC200～240V | 單相AC200～240V | 單相AC200～240V | 單相AC200～240V | 單相AC200～240V | 單相AC200～240V |
(50/60Hz)±10％ | /200～240V | /200～240V | ||||||
最大所需電力 | 0.45kVA | 0.55kVA | 1.0kVA | |||||
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